VUVパターニング装置

メーカーウシオ電機

型式SUS740

年式

外寸

展示場都留テクニカルセンター

価格242,000円(税込)

ASK管理No.M50420

機械仕様波長:150～200nm
露光エリア:φ30mm
ユーティリティー:N2 10NL/min
入力電源:単相AC100V 50/60Hz
設置寸法:W680＋113 D700(電源含まず)

添付ファイル

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