VUVパターニング装置
メーカーウシオ電機
型式SUS740
年式
外寸W750 D1170 H630
展示場塩山テクニカルセンター
価格242,000円(税込)
ASK管理No.M50420
機械仕様波長:150～200nm
露光エリア:φ30mm
ユーティリティー:N2 10NL/min
入力電源:単相AC100V 50/60Hz
設置寸法:W680＋113 D700(電源含まず)
本体外寸:W750 D750 H630
電源外寸:W300 D500 H270
トータル外寸:W750 D1170 H630
添付ファイル
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