VUVパターニング装置

メーカーウシオ電機

型式SUS740

年式

外寸

展示場都留テクニカルセンター

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ASK管理No.M50420

機械仕様波長 150～200nm 露光エリア φ30mm
ユーティリティー AC100V，N2:10NL/min
設置寸法 W680＋113 D700
(電源含まず)
電源 B0287 単相AC100V 50/60Hz

添付ファイル

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