EB蒸着装置
メーカーオプトラン
型式GENER-2500DBI
年式2013
外寸5000 x 6000 x 2900 床面
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.M70168
機械仕様成膜範囲1600x1300㎜(基板セット1800x1420)
チャンバーサイズΦ2500xH1380㎜
蒸発源:電子銃 水晶膜厚計:XTC/3
設置面積W6300xD9000xH3600 重量13t
添付ファイル
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メーカーオプトラン
型式GENER-2500DBI
年式2013
外寸5000 x 6000 x 2900 床面
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.M70168
機械仕様成膜範囲1600x1300㎜(基板セット1800x1420)
チャンバーサイズΦ2500xH1380㎜
蒸発源:電子銃 水晶膜厚計:XTC/3
設置面積W6300xD9000xH3600 重量13t
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