EB蒸着装置

メーカーオプトラン

型式GENER-2500DBI

年式2013

外寸5000 x 6000 x 2900 床面

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.M70168

機械仕様成膜範囲1600x1300㎜(基板セット1800x1420)
チャンバーサイズΦ2500xH1380㎜
蒸発源:電子銃 水晶膜厚計:XTC/3
設置面積W6300xD9000xH3600 重量13t

添付ファイル

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