ウエハ表面検査装置
メーカータカノ
型式WM-10
年式2019
外寸W1272 D1213 H1650
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.MA0110
機械仕様特徴：高出力Violet-LDの採用、最高検出感度48nm
90～65nmプロセスノード量産・試作に最適
光源：VioletLD
検出/走査方式：散乱光検出/螺旋走査方式
散乱光検出/螺旋走査方式：Bare48nm/Film60nm
ウエハサイズ：300/200mm対応
入力電源：1φ200-240V 50/60Hz 30A
添付ファイル 動作チェックシート
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