スパッタ装置
メーカー長州産業
型式DSSC-IS1P3
年式2013
外寸W4000 D4000 H2530
展示場塩山テクニカルセンター
価格入札会出品中
ASK管理No.MB0049
機械仕様装置構成:LL室１→SP室→LL室２ 流れ方向:左勝手
ロードロック室:最大16枚ワーク収納可能 EV機構
基板サイズ:500mm×500mm
ターゲットサイズ:5インチ×26インチ デポアップ
スパッタ電源:RF電源5kW NR5N-08
エッチング電源:RF電源3kW NR3N-04A
排気系:LL1(TMP+Dry)、SP室(TMP+Dry)、：LL2(TMP+Dry)
入力電源:三相AC200V 50/60Hz 200A
添付ファイル 動作チェックシート
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