スパッタ装置
メーカー長州産業
型式DSSC-IS1P3
年式2013
外寸W4000 D4000 H2530
展示場塩山テクニカルセンター
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ASK管理No.MB0049
機械仕様装置構成：LL室１→SP室→LL室２
流れ方向： 左勝手
ロードロック室：最大16枚ワーク収納可能。EV機構
基板サイズ：500mm×500mm
ターゲットサイズ：5in×26in、デポアップ
スパッタ電源：RF電源5kW NR5N-08
エッチング電源：RF電源3kW NR3N-04A
排気系：LL1(TMP+Dry)、SP室(TMP+Dry)、：LL2(TMP+Dry)
入力電源：3φAC200V
添付ファイル 動作チェックシート
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