露光装置

メーカーオーク製作所

型式HMW-680GW-30

年式2017

外寸W1350 D2700 H1750

展示場都留テクニカルセンター

価格8,668,000円(税込)

ASK管理No.N10673

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機械仕様散乱光 初期平均照度 35mW/cm2以上
照度分布:80%以上
入力電源:三相AC200V 50Hz 125A 重量1100kg

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