半導体(前工程) 成膜・めっき 蒸着装置 蒸着装置 メーカーアネルバ 型式EVC-1701 年式1995 外寸W1150D1200H1800 展示場九州テクニカルセンター 価格お問合せください ASK管理No.N10955 在庫確認・お問合せ 機械仕様三相:200V 75A 60A 50Hz 水量本体:3㎏f/㎠ 6ℓ/min 水量電子銃:7㎏f/㎠ 14ℓ/min 空圧:7㎏f/㎠ 2002年2月 改造、オーバーホール 2023年1月9日 改造後銘板の写真追加 (林) 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します