エッチング装置
メーカーサムコ
型式RIE-400iPB
年式2009
外寸W986 D1792 H1975
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.N11279
機械仕様反応室 内径φ320 φ37mm
ビューポート付(右側に1個)ラバーヒータ付
LL室 外寸W 340mm D445 H144mm
ICPユニット 2ターンコイル下部電極 φ106mm(最大φ4インチ対応)
ICP 13.56MHz Max1KW BIAS 13.56MHz Max 300W
3φ200V 60Hz 60A 使用ガス CHF3 O2 Ar C4F8 SF6
添付ファイル 動作チェックシート
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