メーカーアネルバ

型式L-430S-FH

年式1999

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格6,072,000円(税込)

ASK管理No.N20560

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機械仕様カソード：φ4インチ　ｘ　3基
スパッタ方式：高周波（RF)1.2kW　/　直流（DC)2.5kW
基板加熱：Max250℃
入力電源：3φAC200V　50/60Hz　75A

添付ファイル