半導体(前工程) フォトリソ・塗布・表面処理 露光装置 露光装置 メーカーミカサ 型式MA-20 年式2004 外寸 展示場塩山テクニカルセンター 価格2,277,000円(税込) ASK管理No.N30372 在庫確認・お問合せ 機械仕様ウェーハサイズ:φ1~φ4 接眼レンズ:10x 対物レンズ:10x/0.13 UVランプ:ウシオ(USH-500D Hg 500W) 入力電源:単相AC100V 50/60Hz MAX 20A 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します