露光装置

メーカーミカサ

型式MA-20

年式2004

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格2,277,000円(税込)

ASK管理No.N30372

機械仕様ウェーハサイズ:φ1~φ4
接眼レンズ:10x
対物レンズ:10x/0.13
UVランプ:ウシオ(USH-500D Hg 500W)
入力電源:単相AC100V 50/60Hz MAX 20A

添付ファイル 動作チェックシート

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