メーカー芝浦メカトロニクス

型式CFS-4EP-LL

年式2001

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.N30392

在庫確認・お問合せ

機械仕様処理量：φ200mm以内（有効φ170mm）
ターゲット数：4inカソード×3基
T1(DC電源単独)、T2(DC電源単独)、T3（RF電源単独）
逆スパッタ機構有り
治具加熱：MAX300℃
入力電源：3φAC200V　8kVA

添付ファイル 動作チェックシート