メーカーニコン

型式NWL860TMB

年式

外寸W530D620H275

展示場九州テクニカルセンター

価格825,000円(税込)

ASK管理No.N30990

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機械仕様電源：1相100-120/220-240V 50/60Hz
対応ウエハー：6・8インチ
WF裏面検査機構有 圧力：450Hg以下

添付ファイル 動作チェックシート