触針式段差膜厚計
メーカーKLA-Tencor
型式Alpha-Step IQ
年式2007
外寸W430 D660 H290
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.N31367
機械仕様触針式（ステージ駆動、触針固定）
垂直方向分解能/測定範囲 1Å/±6.5μm、5Å/32μm、25Å/±300μm
段差測定再現性 8Å（13μmレンジ）
走査距離 最大60mm
走査速度 1μm/秒-25mm/秒
サンプリングレート 50,100,200,500,1000ポイント/秒
サンプルサイズ 最大254mm
アクセス範囲 最大152mm
撮影カメラ サイドビュー：95-410倍、トップビュー：115-465倍
電源 単相 AC100-240V 50/60Hz1.35A
外寸W430 D660 H290
*PCセット付属(起動確認OK)
DELL OPTIPLEX GX520
OS WindowsXP Pro 2002 SP2
CPU Pentium4 2.8GHz
メモリ 1GB
HDD 80GB
添付ファイル 動作チェックシート
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