メーカー日電アネルバ

型式SPF-430H

年式1985

外寸W1100 D940 H1800

展示場都留テクニカルセンター

価格3,795,000円(税込)

ASK管理No.N50463

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機械仕様基板加熱最高温度:300℃
SPF-400自動排気装置にФ320 加熱・水冷型基板ホル
ダー、及びターゲット電極にФ4プレーナマグネトロ
ンカソード 3基を組み合せたスパッタ装置
入力電源:三相AC200V 50Hz 150A 重量:650kg

添付ファイル