メーカー日電アネルバ

型式SPF-430H

年式1985

外寸W1100 D940 H1800

展示場都留テクニカルセンター

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ASK管理No.N50463

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機械仕様SPF-400自動排気装置にФ320 加熱・水冷型基板ホルダー、及びターゲット電極にФ4"プレーナマグネトロンカソード3基を組み合せたスパッタ装置。
基板加熱最高温度 300℃
電力 : 200V 3Ф 30A 50/60Hz

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