パーツ関連 真空部品 RF電源 RF電源 メーカーアドテック 型式AXR-600Ⅲ-A-D50 年式2008 外寸W215 D515 H180 展示場塩山テクニカルセンター 価格363,000円(税込) ASK管理No.N61084 在庫確認・お問合せ 機械仕様出力:600W 周波数:13.56MHz 入力:単相 AC200-240V 50/60Hz 1300VA 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します