メーカーJFEテクノリサーチ

型式FiDiCa（フィディカ）

年式2016

外寸W1590 D990 H1750

展示場塩山テクニカルセンター

価格4,180,000円(税込)

ASK管理No.N70115

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機械仕様測定物：半導体やフィルム、液膜
試料サイズ：A3（300mm×400mm）
膜厚測定範囲：100nm～150um
測定分解能：数nm
測定原理：分光干渉法、1軸スキャン
測定時間：約90sec

添付ファイル 動作チェックシート