メーカーJFEテクノリサーチ

型式FiDiCa（フィディカ）

年式2016

外寸W1590 D990 H1750

展示場塩山テクニカルセンター

価格4,807,000円(税込)

ASK管理No.N70115

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機械仕様測定物:半導体やフィルム 液膜
試料サイズ:A3(300mm×400mm)
膜厚測定範囲:100nm～150um
測定分解能:数nm 測定原理:分光干渉法 1軸スキャン
測定時間:約90s 入力電源:単相AC100V 50/60Hz

添付ファイル 動作チェックシート