真空蒸着装置
メーカーアルバック
型式VPC-1100
年式2015
外寸W1145 D913 H2155
展示場塩山テクニカルセンター
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ASK管理No.N70548
機械仕様基盤ホルダーΦ340ｘ2式、4点ツメ受け
ガラスペルジャ寸法：内径φ390高さ350mm
蒸発電源：PSE-150C 本体電源200V 3P 5.3kVA
クライオポンプ：CRYO-U6H 77㎏
ロータリーポンプ：GLD-202A
電源：3相AC200V 50/60Hz / 単相AC100V 50/60Hz
添付ファイル 動作チェックシート
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