半導体(前工程) 成膜・めっき 蒸着装置 真空蒸着装置 メーカーアルバック 型式VPC-1100 年式2015 外寸W1145 D913 H2155 展示場塩山テクニカルセンター 価格商談中 ASK管理No.N70548 在庫確認・お問合せ 機械仕様基盤ホルダーΦ340x2式、4点ツメ受け ガラスペルジャ寸法:内径φ390高さ350mm 蒸発電源:PSE-150C 本体電源200V 3P 5.3kVA クライオポンプ:CRYO-U6H 77㎏ ロータリーポンプ:GLD-202A 電源:3相AC200V 50/60Hz / 単相AC100V 50/60Hz 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します