メーカーテクダイヤ

型式TEC-1228AL

年式

外寸W1516 D862 H1506

展示場都留テクニカルセンター

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ASK管理No.N70782

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機械仕様・6インチウェハに対応した次世代型ブレーク装置
・自動機には欠かせないブレーク認識機能の搭載により、ブレークミスを減少
・ダブルアーム搬送により、ウェハのロード時間を短縮
・視認性の向上により、画像認識時のマッチングエラーを減少
電源 : AC220V 50/60Hz 1kW

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