蒸着装置
メーカーキヤノンアネルバ
型式L-045E
年式2007
外寸W1100 D700 H1650
展示場九州テクニカルセンター
価格入札会出品中
ASK管理No.N80312
機械仕様ウエハーサイズ:3インチウエーハ1枚
ハース容量:11mL(φ29×Φ24×D20)×6個
水量本体 0.5MPa-16L/min
ビーム加速電圧:-8kV DC
入力電源:三相AC200V 50/60Hz 60A
・EB電源 型式：EGP-210RS
周波数：50/60Hz
出力：10kV/8kV 1.0/1.25A
・EBガン 型式：980-7114ah
10kW 6連E型電子銃
添付ファイル 動作チェックシート
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