メーカーキヤノンアネルバ

型式L-045E

年式2010

外寸W1100 D700 H1650

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.N80313

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機械仕様3インチSIウエハ1枚収納可能
最大投入電力：10kW
るつぼ 11mL(φ29xφ24xD20)x6個
真空室 W400 H660(5角形)
３φ 200V 50/60Hz 60A

添付ファイル 動作チェックシート