半導体(前工程) フォトリソ・塗布・表面処理 露光装置 露光装置 メーカーミカサ 型式M-2L 年式2000 外寸W1000 D700 H850 展示場九州テクニカルセンター 価格1,518,000円(税込) ASK管理No.N80347 在庫確認・お問合せ 機械仕様ステージ寸法:80×80mm マスクフォルダー寸法:58×58/32×32mm UVランプ:ウシオ(USH-500D Hg 500W) 入力電源:単相AC100/120V 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します