露光装置

メーカーミカサ

型式M-2L

年式2000

外寸W1000D700H850

展示場九州テクニカルセンター

価格1,320,000円(税込)

ASK管理No.N80347

機械仕様ステージ寸法:80×80
マスクホォルダー:58×58/32×32
UVランプ:ウシオ(USH-500D Hg 500W)
電源:1相100/120V

添付ファイル 動作チェックシート

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