露光装置

メーカーミカサ

型式M-2L

年式2000

外寸W1000 D700 H850

展示場九州テクニカルセンター

価格1,518,000円(税込)

ASK管理No.N80347

機械仕様ステージ寸法:80×80mm
マスクフォルダー寸法:58×58/32×32mm
UVランプ:ウシオ(USH-500D Hg 500W)
入力電源:単相AC100/120V

添付ファイル 動作チェックシート

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