メーカーヒューグルエレクトロニクス

型式HS-1800

年式

外寸W400D690H350

展示場九州テクニカルセンター

価格363,000円(税込)

ASK管理No.N80363

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機械仕様電源：1相100V 50/60Hz
対応ウエハーサイズ：5インチ
ステージ加熱：Max100℃
ステージストローク：Max70mm
レンジ：1mm
ステージサイズ：φ139mm
ステージ上昇速度可変

添付ファイル 動作チェックシート