メーカーヒューグルエレクトロニクス

型式HS-1800

年式－

外寸W400 D690 H350

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.N80363

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機械仕様対応ウエハーサイズ:5インチ
ステージ加熱:Max100℃
ステージストローク:Max70mm
レンジ:1mm ステージサイズφ139mm
入力電源:単相AC100V 50/60Hz ステージ上昇速度可変

添付ファイル 動作チェックシート