巻取りスパッタ装置
メーカーロック技研
型式RVS-W-510-A
年式2011
外寸W4750 D5900 H2700
展示場九州テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.N80462
機械仕様巻取部:幅510mm,厚み:50μm～175μm
マグネトロンカソード3基(128mmx725mm角型)
スパッタ電源:20Kw 2式,10Kw 1式
成膜速度:200nm・m/min
加熱温度:200℃ マグネット:400G
高周波電源:0.75Kw
ターゲット仕切ボックス:550mmx180mm
前処理室:550mmx72mm ターゲット基材100mm
真空槽内寸:W1050xD1250xH1700
使用可能コア・テーパコン 3インチ・6インチ
3φ200V 50Hz 130Kw
使用ガス:Ar N2
添付ファイル
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