薄膜応力測定装置
メーカー東朋テクノロジー
型式FLX-2320-S
年式2011
外寸W565 D450 H470
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.NC0202
機械仕様本体のみ( レーザー活性化キー無し)
基板サイズ:3~8インチ
温度範囲:室温~500℃
昇温速度:最大25℃/min
測定再現性:1σ=1.3MPa
(厚さ725μmのSi基板上酸化膜1μmの場合)
電源:単相 200V 50/60Hz 15A
添付ファイル
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