薄膜応力測定装置

メーカー東朋テクノロジー

型式FLX-2320-S

年式2011

外寸W565 D450 H470

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.NC0202

機械仕様本体のみ( レーザー活性化キー無し)
基板サイズ:3~8インチ
温度範囲:室温~500℃
昇温速度:最大25℃/min
測定再現性:1σ=1.3MPa
(厚さ725μmのSi基板上酸化膜1μmの場合)
電源:単相 200V 50/60Hz 15A

添付ファイル

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