パーツ関連 真空部品 RF電源 RF電源 メーカーENI 型式OEM-25 年式 外寸W440 D595 H475 展示場塩山テクニカルセンター 価格726,000円(税込) ASK管理No.NC0383 在庫確認・お問合せ 機械仕様出力:3000W 13.56MHz 入力電源:三相AC200V~ 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します