メーカーミカサ

型式MS-B200

年式2020

外寸W500 D583 H335

展示場都留テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.NC0685

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機械仕様電源 AC100～240V 5A
最大基板サイズ φ8インチウエハー又は150×150mm基板
回転数 20～5000rpm
スピン室内径 φ360mm
100ステップ×10パターン
ダイアフラムポンプ(DA-60S)付属
SUSタンク2本付属

添付ファイル 動作チェックシート