ターボ分子ポンプ
メーカーエドワーズ
型式STP-iXA3306C
年式
外寸W430 D400 H580
展示場都留テクニカルセンター
価格1,650,000円(税込)
ASK管理No.NC0689
機械仕様電源電圧 200-240V
排気速度N2 3200 L/S
排気速度Ar 2800 L/S
到達圧力 10-7Pa (10-9Torr)
許容背圧 266Pa (2Torr)
最大ガス流量 N2 *(水冷のみ) 4000sccm
最大ガス流量 Ar * (水冷のみ) 2100sccm
定格速度 27700回転
添付ファイル
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