メーカーアルバック

型式CE-L

年式2013

外寸W800 D2550 H1400

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.NC0854

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機械仕様6インチトレイ(対応基板140mm以内)/5枚
プロセス室W750 D500 H150m RIEプラズマ方式
カソードカップリングタイプ・電極直置きタイプ
RF電源:300W 3φ 200V 50/60HZ 使用ガス:Ar,O2,SF6

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