メーカー巴商会

型式MAK-100E

年式2012

外寸W800 D750 H1900

展示場九州テクニカルセンター

価格726,000円(税込)

ASK管理No.NC0883

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機械仕様【対応ガス】SiH4,AsH3,PH3,HF
B2H6,BF3,NH3,CO　
H2S,SiH2Cl2,TEOS
SiF4,Cl2,BCl3,F2,HCl　
入力電源:単相AC100V 50/60Hz 3A
(処理筒　型式MAK-025E):W700×D650×H1900

添付ファイル 動作チェックシート