エッチング装置
メーカーアルバック
型式NE-701
年式2007
外寸W1300 D2400 H2000
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.NC1074
機械仕様3相:200V 19.9kVA 50/60Hz
基板サイズ:Φ6インチ
プロセスガス:O2,Ar,Cl2,BCl3 各100sccm
P-N2、冷却用:He
電源：ANTRNNA:RF1000W,BIAS:RF300W
ロードロック式
基板保持方法：ESCチャック
【付属品】
・ドライポンプHR60
・ロータリーポンプ D-650DK
・チラーCA-1112
添付ファイル 動作チェックシート
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