メーカーアルバック

型式ME-701

年式2007

外寸W1300 D2400 H2000

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.NC1074

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機械仕様3相:200V 19.9kVA 50/60Hz
基板サイズ:150mm
プロセスガス:O2,Ar,Cl2,BCl3 各100sccm
P-N2、冷却用:He
【付属品】
・ドライポンプHR60
・ロータリーポンプ D-650DK
・チラーCA-1112

添付ファイル