メーカーアルバック

型式NE-701

年式2000

外寸W1300 D2400 H2000

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.NC1075

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機械仕様基板サイズ:150mm
プロセスガス:O2,Ar,Cl2,BCl3 各100sccm P-N2
冷却用:He
入力電源:三相AC200V 19.9kVA 50/60Hz
(付属品３点）・ドライポンプ HR80 他
・ ロータリーポンプ D-650DK
・チラーNCCー1410

添付ファイル 動作チェックシート