メーカー東京応化工業

型式TCA-3811

年式2008

外寸W900 D1850 H2050

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.NC1077

在庫確認・お問合せ

機械仕様基板サイズ:75mm 　
RF電源:1000W 13.56MHz　
入力電源:三相AC200V 50A/60Hz
＜排気セット＞
ロータリーポンプALCATEL2063他
メカニカルブースターポンプANELVA B301
ダイアフラム ULVAC DA-20D

添付ファイル 動作チェックシート