メーカー東京応化工業

型式TCA-3811

年式2008

外寸W900 D1850 H2050

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.NC1077

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機械仕様3相:200V 50A/60Hz
基板サイズ:75mm 　
RF電源:1000W 13.56MHz　
＜排気セット＞
・ロータリーポンプALCATEL2063
・メカニカルブースターポンプANELVA B301
・ダイアフラム ULVAC DA-20D

添付ファイル 動作チェックシート