エッチング装置
メーカーアルバック
型式NE-550
年式2004
外寸W1300 D2400 H2000
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.NC1080
機械仕様3相:200V 18 .1 kVA 50/60Hz 基板サイズ:200mm 付属品:ドライポンプ ER80 チラーCA-1112 (2台) 排気トラップ, 交換部品
使用ガス:Ar,N2,He,Cl2（Ar:140SCCM、O2:99SCCM、SF6:56SCCM、CF4:180SCCM、CL2:158SCCM）
基板冷却用ガス:He トレイサイズ:Φ8インチ
電源仕様:ANTRNNA:RF1000W、BIAS:RF300W
処理方法:ロードロック 基板保持方法:メカチャック
添付ファイル
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