マスクアライナー(露光装置)
メーカーユニオン光学
型式PEM-800
年式2001
外寸W750 D850 H1670
展示場九州テクニカルセンター
価格2,024,000円(税込)
ASK管理No.NC1113
機械仕様マスクサイズ:最大5インチ
ウェーハサイズ:最大4インチ
接眼レンズ:NWF10X
入力電源:AC100V 50/60Hz 11.5A、
使用ガス:N2 使用圧力:0.4～0.5MPa
真空:21.3KPa(-80KPa)
真空ポンプ(DA-60S)付属
FFU付ブース付属(W1100 D1000 H1900)
添付ファイル
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