スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式SPC-540H
年式1984
外寸1500×1050×2210
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.NC1156
機械仕様ターゲットサイズ：約110mm×280mm
スパッタ用電源：RF電源（200V３Φ40A５kW) 4/9 -(W570D750H1590)・5/9,6/9,7/9-(W570D730H1305)
制御盤：2/9-(W575D910H2300)・3/9-W570D770H1815
クライオポンプ：ALCATEL-2063-SD(W255D815H415)
クライオコンプレッサー：SUMITOMO-CKW21(W480D550H465)
添付ファイル
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