メーカーアネルバ

型式SPC-540H

年式1984

外寸1500×1050×2210

展示場九州テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.NC1156

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機械仕様ターゲットサイズ：約110mm×280mm
スパッタ用電源：RF電源（200V３Φ40A５kW)
・4/9 -(W570D750H1590)
・5/9,6/9,7/9-(W570D730H1305)
制御盤：・2/9-(W575D910H2300)
　　　　・3/9-W570D770H1815
クライオポンプ：ALCATEL-2063-SD(W255D815H415)
クライオコンプレッサー：SUMITOMO-CKW21(W480D550H465)

添付ファイル