メーカー光洋サーモシステム

型式272A-M200

年式2009

外寸W12060 D3250 H1800

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.NC1157

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機械仕様3相:200V 36.25kVA 60Hz
ワークサイズ:Φ50mm、Φ76.2mm、Φ100mm
処理枚数:25枚/バッチ
上段:アニール常陽温度∼1100度
下段:Poly-Si常温温度600∼700度
※PLCデータ損失

添付ファイル