スパッタ装置

メーカーアルバック

型式SIV-200

年式2017

外寸W3500 D1500 H2000

展示場九州テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.NC1159

機械仕様3相:200V28KVA50Hz
規範サイズ4インチウエハー(オリフラ)
付属品
・クライオコンプレッサーC30MVR
・ロータリーポンプVD60C

添付ファイル

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