スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式SPF-530H
年式1988
外寸(本体)W1500 D1100 H1750
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.NC1182
機械仕様電源：200V 60A 50/60Hz
冷却水：2kgf/㎠ 10l
空圧：7㎏f/㎠
RF電源：PRF-503 (アネルバ）
MP：CAP-80 MarkⅡ(アネルバ）
ターゲットサイズ：φ6インチ(150mm)
ターゲット数:：3、バッキングプレート3枚付き（本体取付）
使用ガス：Ar
成膜方式：スパッタUP
添付ファイル
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