メーカーアネルバ

型式SPF-530H

年式1991

外寸(本体)W1500 D1100 H1750

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.NC1183

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機械仕様電源：200V　60A　50/60Hz
冷却水：2kgf/㎠　10l
空圧：7㎏f/㎠　
RF電源：PRF-246C (アネルバ）
MP：CAP-121 (アネルバ）
ターゲットサイズ：φ6インチ(150mm)
ターゲット数:3
使用ガス：Ar、O2
成膜方式：スパッタUP

添付ファイル