スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式SPC-540H
年式1984
外寸(本体)W1650 D1350 H2180
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.NC1184
機械仕様電源：200V 75A 60Hz
冷却水：3kgf/㎠ 22L
空圧：5㎏f/㎠
RF電源：PRF-503 2台→1台は切替器付（アネルバ）
DC電源：PDC087B（アネルバ）
MP：CAP-121 (アネルバ）
ターゲットサイズ：□約130mm×380mm
ターゲット数:4
使用ガス：Ar、O2
成膜方式：スパッタSIDE
添付ファイル
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