スパッタ装置
メーカー芝浦メカトロニクス
型式CFS-4EP-LL
年式2002年
外寸W1260 D840 H1720
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.O30162
機械仕様ロードロック式：バッチ式タイプ
スパッタ方式：サイドスパッタ
スパッタ源：3inch×3個、T1(DC/RF)T2(DC)T3(DC)
ホルダーサイズ：ø220
排気操作方式：自動・全自動
スパッタ操作方式：手動・全自動
電源：RF500W（DC）
加熱温度：最大300℃（600℃）
エッチング：可能
電源：三相AC200V 60Hz 10kVA
添付ファイル 動作チェックシート
※ 以下の画像をクリックをすると拡大します
