スパッタ装置

メーカー芝浦メカトロニクス

型式CFS-4EP-LL

年式

外寸W1260 D840 H1720

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.O30162

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機械仕様処理サイズ：φ200mm
ターゲット数：3
電源：三相AC200V　60Hz　10kVA

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