クライオポンプ
メーカーアルバック
型式CRYO-U12HSP
年式
外寸W520 D550 H700
展示場都留テクニカルセンター
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ASK管理No.O30661
機械仕様排気速度 4100L/S
フランジ外径 φ400mm
排気速度(20℃) Ar_3,300L/s
到達圧力 10-7(10-9)Pa(Torr)
最大流量 Ar_2.0×103(15)Pa・L/s(Torr・L/s)
排気容量 Ar_2.1×108(1.6×106) Pa・L(Torr・L)
冷却降下時間 85/75min(50/60Hz)
クライオメーター(MBS-C2)
レギュレーター(R20)
添付ファイル
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