スパッタリング装置
メーカーアルバック
型式SH-550-C12
年式2000
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.O50033
機械仕様スパッタ方式：スパッタアップ
成膜方法：回転成膜
スパッタ室：１,真空槽Φ750×320H㎜
カソード数：DC１元＋RF３元
ターゲットサイズ：Φ8in×3基
スパッタ電源：DC4kW_1台 、RF3kW_2台
エッチング・逆スパッタ：有り
基板加熱：Max300℃
基板ホルダー：Φ550×5t㎜（水冷）
対応基板サイズ：Φ4in×8枚、Φ8in×4枚
T-S間距離：60㎜～100㎜可変
排気系：CRYO+RP
プロセスガス：Ar、O2、N2
クライオｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ稼働時間：19979.6Hr
添付ファイル
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