スパッタリング装置
メーカーアルバック
型式SH-550-C12
年式2000
外寸－
展示場塩山テクニカルセンター
価格入札会出品中
ASK管理No.O50033
機械仕様スパッタ方式:スパッタアップ 成膜方法:回転成膜
スパッタ室:１ 真空槽:φ750×320mm
対応基板サイズ:φ4インチ×8枚 φ8インチ×4枚
カソード数:DC１元＋RF３元
ターゲットサイズ:φ8インチ×3基
スパッタ電源:DC4kW_1台 RF3kW_2台
エッチング・逆スパッタ:有り
基板加熱:Max300℃
基板ホルダー:φ550×5mm（水冷）
T-S間距離:6～10mm可変
排気系：CRYO+RP
プロセスガス:Ar、O2、N2
クライオｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ稼働時間：19979.6Hr
添付ファイル
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