メーカー昭和真空

型式SEC-22C

年式2017

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.O50035

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機械仕様真空槽寸法：□800xH1350mm
電子ビーム蒸発源：電子銃 (6 点 ハース一体型）1式
抵抗加熱式蒸発源：1式
基板加熱：Max300℃/常用160℃
治具回転数(約）：6/15/30rpm
基板クリーニング機構
水晶発振式膜厚モニター
排気系：クライオ、ドライポンプ、メカブ
クライオコンプレッサ稼働時間：30835.8/32651.8/32653.1Hr

添付ファイル