基板洗浄装置

メーカー芝浦メカトロニクス

型式HCIWｰLVWAIHUｰL

年式

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.O50152

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機械仕様処理ワーク:ガラス基板(300x400/300x360mm　t=0.7/1.1mm）
タクトタイム：60秒/枚
搬送速度:600mm/min

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