半導体(前工程) 成膜・めっき 蒸着装置 蒸着装置 メーカーアルバック 型式VPC-410 年式 外寸W800 D600 H1300 展示場九州テクニカルセンター 価格商談中 ASK管理No.O51078 在庫確認・お問合せ 機械仕様到達圧力:10⁻4Pa 排気時間:10⁻4Pa ガラスペルジャ寸法:内径φ 300高さ 300mm 所要水量:2.2L/min(水温25℃以下、水圧200~300kpa) 電源:200V3相50/60Hz 1.35kVA ※付属品重量 : 計60kg 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します