排ガス処理装置(半導体用)

メーカー巴商会

型式MAK-100S

年式2004

外寸W1500 D850 H2000

展示場九州テクニカルセンター

価格385,000円(税込)

ASK管理No.O51096

機械仕様電源:AC100V 50/60Hz
処理筒無し
処理筒型式:縦形円筒2段積式
処理筒寸法:355.6φ×1050H mm
N2:0.5~0.7Mpa 10SLM
排気ガス入口・出口:NW40
最大流量120(L/min)

添付ファイル

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