排ガス処理装置(半導体用)
メーカー巴商会
型式MAK-100S
年式2004
外寸W1500 D850 H2000
展示場九州テクニカルセンター
価格385,000円(税込)
ASK管理No.O51096
機械仕様電源:AC100V 50/60Hz
処理筒無し
処理筒型式:縦形円筒2段積式
処理筒寸法:355.6φ×1050H mm
N2:0.5~0.7Mpa 10SLM
排気ガス入口・出口:NW40
最大流量120(L/min)
添付ファイル
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