プラズマクリーナー
メーカーヤマト科学
型式PDC210
年式
外寸W800 D660 H1350
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.O51100
機械仕様プラズマモード RIE(DPモードオプション)
電極構造 平行平板(電極間固定)
高周波出力 MAX.500W
発振周波数 13.56MHz 水晶発振
ステージ寸法 W250×D170mm
チャンバー材質 アルミ製
反応ガス：アルゴン
入力：AC200V3φ 50/60Hz
内寸 W400 D250 H150
真空ポンプ：PASCAL2021SD
キャスターあり
添付ファイル
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