メーカーオリンパス

型式OLS3000-IR

年式

外寸W500 D560 H530

展示場九州テクニカルセンター

価格2,530,000円(税込)

ASK管理No.O51135

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機械仕様電源：AC100V　50/60Hz　
対物レンズ(LMPlan IR)：
5x/0.10、10x/0.25、20x/0.40、50x/0.55、100x/0.80
手動ステージサイズ(mm)：W270×D255
手動ステージストローク：100mm×100mm
対応ウエハー：4インチ
レボルバー：自動
除振台付属：W660 D870 H720
コントローラー、制御用PC、モニター、キーボード、マウス付属

添付ファイル 動作チェックシート