スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式SPF-530H
年式1988年
外寸（本体）W1500 D1100 H1750
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.O51138
機械仕様電源：200V 60A 50/60Hz
冷却水：2kgf/㎠ 10L
空圧：7㎏f/㎠
RF電源：PRF-153B (アネルバ）
DC電源：PDC057B（アネルバ）
MP：CAP-121 (アネルバ）
ターゲットサイズ：φ6インチ(150mm)
ターゲット数：3、バッキングプレート3枚付き（本体取付）
使用ガス：Ar、O2
成膜方式：スパッタUP
添付ファイル
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