ドライエッチング装置
メーカー昭和真空
型式SPE-2010
年式2004
外寸（本体）W1000 D1100 H1600
展示場九州テクニカルセンター
価格入札会出品中
ASK管理No.O51140
機械仕様基板サイズ:φ3インチ(オリフラ)
冷却水:0.2Mpa 0.96m3/h 空圧:0.5MPa
RF電源:13.56MHz (Max500W）
MP:VG203VA /大阪真空(2.7×10 －3Pa以下 )
入力電源:三相AC200V 60Hz 16.7KVA
使用ガス:Ar O2 CHF3
エッチング方式:反応性エッチング
添付ファイル
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